Sensore pressione con TERPS

La divisione Sensing di GE Energy, Measurement & Control introduce la tecnologia Trench Etched Resonant Pressure.

I sensori di pressione risonanti al silicio RPS 8000 e DPS 8000, con tecnologia TERPS, offrono precisione e stabilità dieci volte superiori rispetto ai tradizionali piezoresistivi, ampliando l'intervallo di pressione misurabile anche rispetto ai sensori di pressione risonanti (RPT).

I nuovi dispositivi proposti da GE sono isolati materialmente dal fluido di pressione mediante un diaframma metallico e una camera riempita d'olio, che ne consente l'impiego in ambienti industriali. Per soddisfare le differenti esigenze applicative, è disponibile una vasta gamma di connettori di pressione ed elettrici. Il campo d'impiego di questi sensori spazia dal settore aerospaziale a quello sottomarino, dall'ingegneria di processo e metrologia alla strumentazione industriale.

La nuova tecnologia TERPS è il risultato di un vasto programma di ricerca e sviluppo nella progettazione e fabbricazione di sensori di pressione risonanti al silicio in ambito GE e in collaborazione con varie università. I modelli RPS 8000 e DPS 8000 incorporano questa tecnologia e presentano tutte le caratteristiche insite del silicio risonante, con una capacità nettamente superiore in termini di intervallo di pressione (fino a 70 bar), intervallo di temperatura (da -40°C a +85°C) e packaging meccanico. Inoltre, la microlavorazione a macchina all'ingrosso del silicio, una tecnologia che abbiamo importato dalla nostra divisione Advanced Sensors, migliora notevolmente i tempi di consegna dei prodotti.

I nuovi sensori operano, essenzialmente, in maniera identica a un sensore RPT. La struttura al silicio viene indotta alla risonanza per mezzo dell'applicazione di un campo elettrostatico e quando la pressione è applicata ad un diaframma, il risonatore di silicio viene teso, modificando la frequenza, in maniera simile ad una corda di chitarra. Questa variazione di frequenza è direttamente proporzionale alla pressione applicata.

I sensori RPS 8000 e DPS 8000 differiscono soltanto per i segnali d'uscita. Il primo ha un microprocessore incorporato e connessioni RS485/RS232 che forniscono un output digitale diretto ed è ideale per applicazioni OEM e di sviluppo di sistemi che desiderano incorporare una misura di pressione stabile e di alta precisione. Il modello RPS 8000 genera un segnale d'uscita a frequenza TTL e una misura di temperatura a mV da un diodo di temperatura integrato. Entrambi possono essere abbinati all'apparecchiatura digitale per fornire la lettura della pressione.